ESCORT SM: мониторинг процессов нанесения оптических покрытий
ОЕМ спектрофотометр ESCORT SM создан специально для измерения характеристик оптических покрытий в вакуумных напылительных установках различных типов. Комплекс ESCORT SM предназначен для построения на его базе системы оптического контроля: он позволяет измерять толщину нанесения оптического материала с точностью до 0,2 нм.
Специализированный спектрофотометр ESCORT SM — это высокоточный и надежный инструмент, не имеющий аналогов на рынке, в основе которого использованы новейшие разработки спектрального оборудования и прецизионных измерительных систем.
Другие спектрофотометры от СОЛ инструментс:
Описание OEM спектрофотометра ESCORT SM
Назначение спектрофотометра ESCORT SM
- Спектрофотометр ESCORT SM предназначен для применения в качестве специализированного OEM-спектрофотометрического комплекса, интегрируемого в оптический канал вакуумной камеры для измерения характеристик оптических покрытий в процессе их нанесения, а также после нанесения, в вакуумных напылительных установках различных типов.
- Спектрофотометр ESCORT SM содержит измерительный канал многоволнового контроля S125 и измерительный канал одноволнового контроля M450.
- Спектрофотометр ESCORT SM позволяет одновременно по двум измерительным каналам проводить измерения коэффициентов пропускания Т или коэффициентов отражения R и предоставляет измеренные характеристики покрытия для автоматического управления процессом напыления.
- Измерительный канал многоволнового контроля измеряет спектр одновременно для всех длин волн диапазона. Измерительный канал одноволнового контроля прецизионно и синхронно с многоволновым каналом измеряет характеристики покрытия на выбранной длине волны. Канал одноволнового контроля позволяет прецизионно измерить спектр после нанесения покрытия путем сканирования в заданном спектральном диапазоне с установленным шагом.
Измерительные функции
- Измерение спектров пропускания, поглощения, отражения или эмиссии.
- Измерение на фиксированных длинах волн коэффициента пропускания, оптической плотности, коэффициента отражения или значения эмиссии.
Измерения во времени на выбранной длине волны.
- Расчет статистических характеристик.
Преимущества OEM спектрофотометра ESCORT SM
- Наличие двух независимых каналов измерений – многоволнового и одноволнового, работающих синхронно.
- Оригинальные оптические схемы каналов измерения, обладающие высокими техническими характеристиками.
- Встроенный персональный компьютер формата 3,5″ позволяющий проводить скоростную обработку результатов измерений и передачу данных внешней программе управления вакуумной установкой.
- Встроенный цветной TFT-LCD Touch Screen модуль на базе компьютера формата 3,5″ или формата РС104 и наличие внутреннего программного обеспечения при автономной работе. Внутреннее программное обеспечение осуществляет мониторинг процесса напыления или управление процессом напыления по “Know how”-алгоритмам для наиболее близкого совпадения спектров расчетного и наносимого покрытия.
- Связь с внешним компьютером по скоростному интерфейсу 10/100 Ethernet для работы под управлением внешнего специализированного программного обеспечения. Внешнее специализированное программного обеспечение в режиме “моделирования процесса нанесения покрытия” позволяет сравнить различные встроенные алгоритмы управления процессом напыления, а также результаты нанесения покрытия, базирующиеся на измерительных характеристиках ESCORT SM или другого спектрофотометрического оборудования. Внешнее специализированное программное обеспечение в режиме управления процессом напыления позволяет автоматизировать процесс нанесения покрытия на основе встроенных алгоритмов или проводить мониторинг процесса напыления, управляемого другими устройствами или алгоритмами.
Подключение к локальной компьютерной сети предприятия.
Пример применения
Измерение коэффициента пропускания или измерение коэффициента отражения в процессе вращения в вакуумной напылительной камере образца-свидетеля, на который наносится оптическое покрытие одновременно с рабочими деталями.
Технические характеристики OEM спектрофотометра ESCORT SM
| Характеристика | Канал S125 | Канал М450 |
|---|---|---|
| Спектральный прибор: | спектрограф | монохроматор с двойной дисперсией |
| Фокусное расстояние спектрального прибора: | 125 мм | 450 мм (225 x 2) |
| Спектральный диапазон: | от 380 до 1100 нм | от 380 до 850 нм |
| Спектральные щели спектрального прибора: | фиксированная, шириной 0.04 мм | переменные, шириной от 0.2 до 2 мм |
| Выделяемый спектральный интервал: | от 1.35 до 3.4 нм | от 0.3 до 3 нм |
| Минимальное время измерения сигнала: | 2 мс/спектр | 2 мс/точка |
| Минимальный шаг спектрального сканирования: | 0.37 нм/пиксель | 0.1 нм |
| Абсолютная погрешность установки длины волны: | ±0.4 нм | ±0.2 нм |
| Воспроизводимость установки длины волны: | ±0.2 нм | ±0.1 нм |
| Уровень мешающего излучения: | 0.1 % (на λ = 450 нм) | 0.005 % (на λ = 400 нм) |
| Фотометрический шум: | 0.07 % | 0.015 % |
| Фотометрическая точность: | ±0.5 % | ±0.2 % |
| Фотометрическая воспроизводимость (сходимость, повторяемость): | ±0.15 % | ±0.05 % |
| Приемники излучения: | CCD | ФЭУ |
| Возможность измерения спектра эмиссии: | да | нет |
| Ввод излучения в спектральный прибор: | оптическое волокно | оптическое волокно |
| Тип синхронизации: | внешняя; внутренняя | внешняя; внутренняя |
| Порты для подключения дополнительных внешних устройств: | Ethernet, USB, RS 232, VGA, PS/2 | Ethernet, USB, RS 232, VGA, PS/2 |
| Габариты: | 483 x 600 x 177 мм | 483 x 600 x 177 мм |
| Вес: | 25 кг | 25 кг |
| Энергопотребление: | 230 В, 50 Гц, 200 В•А | 230 В, 50 Гц, 200 В•А |
Канал S125
- Спектральный прибор: спектрограф
- Фокусное расстояние спектрального прибора: 125 мм
- Спектральный диапазон: от 380 до 1100 нм
Спектральные щели спектрального прибора: фиксированная, шириной 0.04 мм
- Выделяемый спектральный интервал: от 1.35 до 3.4 нм
- Минимальное время измерения сигнала: 2 мс/спектр
- Минимальный шаг спектрального сканирования: 0.37 нм/пиксель
- Абсолютная погрешность установки длины волны: ±0.4 нм
- Воспроизводимость установки длины волны: ±0.2 нм
- Уровень мешающего излучения: 0.1 % (на λ = 450 нм)
- Фотометрический шум: 0.07 %
- Фотометрическая точность: ±0.5 %
- Фотометрическая воспроизводимость (сходимость, повторяемость): ±0.15 %
- Приемники излучения: CCD
- Возможность измерения спектра эмиссии: да
- Ввод излучения в спектральный прибор: оптическое волокно
- Тип синхронизации: внешняя; внутренняя
- Порты для подключения дополнительных внешних устройств: Ethernet, USB, RS 232, VGA, PS/2
- Габариты: 483 x 600 x 177 мм
- Вес: 25 кг
- Энергопотребление: 230 В, 50 Гц, 200 В•А
Канал М450
- Спектральный прибор: монохроматор с двойной дисперсией
- Фокусное расстояние спектрального прибора: 450 мм (225 x 2)
- Спектральный диапазон: от 380 до 850 нм
Спектральные щели спектрального прибора: переменные, шириной от 0.2 до 2 мм
- Выделяемый спектральный интервал: от 0.3 до 3 нм
- Минимальное время измерения сигнала: 2 мс/спектр
- Минимальный шаг спектрального сканирования: 0.1 нм
- Абсолютная погрешность установки длины волны: ±0.2 нм
- Воспроизводимость установки длины волны: ±0.1 нм
- Уровень мешающего излучения: 0.005 % (на λ = 400 нм)
- Фотометрический шум: 0.015 %
- Фотометрическая точность: ±0.2 %
- Фотометрическая воспроизводимость (сходимость, повторяемость): ±0.05 %
- Приемники излучения: ФЭУ
- Возможность измерения спектра эмиссии: нет
- Ввод излучения в спектральный прибор: оптическое волокно
- Тип синхронизации: внешняя; внутренняя
- Порты для подключения дополнительных внешних устройств: Ethernet, USB, RS 232, VGA, PS/2
- Габариты: 483 x 600 x 177 мм
- Вес: 25 кг
- Энергопотребление: 230 В, 50 Гц, 200 В•А
Вспомогательное оборудование для OEM-спектрофотометра ESCORT SM
Вспомогательное оборудование
- Осветитель на основе галогенной лампы и жгут волоконно-оптический (для установки на оптический канал вакуумных камер или на имитатор оптического канала).
- Имитатор оптического канала вакуумных камер (для проверки метрологических характеристик ОЕМ-спектрофотометра).
- Модуль для измерения коэффициента зеркального отражения (с контрольными образцами).
- Комплект аттестованных светофильтров для проведения операций проверки абсолютной погрешности по длинам волн и абсолютной погрешности при измерении коэффициента пропускания.
Периферийные устройства
Несмотря на то, что спектрофотометр ESCORT SM обеспечивает выполнение всех своих функций при автономной работе, к нему могут быть подключены следующие внешние устройства:
- стандартная клавиатура, обеспечивающая набор и редактирование текста (например, для ведения баз данных);
компьютерная мышь для повышения удобства пользования графическим интерфейсом внутреннего программного обеспечения;
- внешний монитор;
- принтер, который подключается через порт USB при необходимости распечатки результатов измерений;
- внешний персональный компьютер для расширения функциональных возможностей спектрофотометра ESCORT SM для решения нестандартных измерительных задач.
Вместе с внешним персональным компьютером поставляется специализированное программное обеспечение или программное обеспечение по спецификации заказчика.